產品概述
碳化硅單晶研究顯微鏡PZ-THG常用的主要是偏光顯微鏡和體視顯微鏡。偏光顯微鏡可用于碳化硅單晶缺陷顯微分析。體視顯微鏡可觀察升華法生長的 SiC 單晶 ，在樣品腐蝕前后所觀察到的微管數目也可顯微觀察碳化硅單晶宏觀缺陷。
規格參數
| 序號 | 產品名稱/型號 | 技術參數 |
| 1 | 體視顯微鏡/XT-13C | 放大倍數：8.0X-80X 用于觀察微管數目及宏觀缺陷 |
| 2 | 偏光顯微鏡/XP-63C | 放大倍數：40X-600X 用于碳化硅單晶微管缺陷顯微分析 |
| 3 | 高清數字攝像頭/PZ-800M3G | 800萬像素 具有二維測量功能 |
| 選配儀器 | ||
| 1 | 自動精密切割機 | 切割速度0.1-5mm/s精確可調，切割精度可達0.01mm |
| 2 | 自動精密研磨拋光機 | 研磨拋光≤Ø142mm的圓片或對角線長≤142mm的矩形平面 平面度：每20mm×20mm小于0.002mm |
| 3 | 切割拋光輔料 | |
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