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等離子體清洗機P–T

產品二維碼
參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準
  • 產品型號:P–T
  • 品牌:
  • 產品類別:半導體設備
  • 所在地:
  • 信息完整度:
  • 樣本:
  • 更新時間:2022-10-24 19:23:15
  • 瀏覽次數:22
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上海蒲柘光電儀器有限公司

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  • 經營模式:其他
  • 商鋪產品:355條
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  • 最近登錄:2022-10-24
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產品簡介

產品概述臺式等離子清洗機P-T,對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進行超清洗和改性,**地清除樣品表面的有機污染物

詳情介紹

臺式等離子清洗機P-T,對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進行超清洗和改性,**地清除樣品表面的有機污染物。

一、產品原理

是一種非破壞性的表面處理設備,它是利用能量轉換技術,在一定真空負壓的狀態下,以電能將氣體轉化為活性的氣體等離子體,該等離子體以一定能量作用于樣品表面,引起分子結構改變和表面形貌的納米級變化,從而達到對樣品表面進行改性和分解污染物的目的。

二、產品特點:

1、桌面型,臺式小型,性能穩定、操作簡便。

2、標配 40KHz 等離子源,可選配 13.56MHz 射頻等離子發生器。

3、小身材,大容量,有效處理面積大。氣浴電極,清洗效率高。

4、適用各種幾形狀、表面的金屬、陶瓷、硅片、等物件表面超清洗和表面改性。

5、全數字控制方式,實時顯示設備狀態。

6、全手動模式適應科學研究多種需求,真空保壓,氣體純化等。

7、全自動模式,一鍵啟動,適合成熟工藝和連續工作。

P-T 參數(標準配置)

外部尺寸

480mm*380mm*420mm

真空腔尺寸

不銹鋼腔體,φ150mm* 230mm

電極尺寸

95*170mm,多控自適應平板電極,

等離子體發生器

40kHz 專用等離子源;

頻率:13.56MHz(可選);自適應阻抗匹配電源

功率

0-300W 連續可調,精度 1W

真空計

熱電偶真空計 0-1000mT

供氣

1 路氣體,精密針閥控制(可配第二路氣體通道)

控制方式

4.3 寸觸摸屏,多級應用菜單,操控簡易快捷

選配件

飛越 VRD 油泵/萊寶/安捷倫 DS 系列干泵氧氣發生器,氣體混合器粉體處理專用裝置

電源

220V10A

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