SU 8光刻膠系列產(chǎn)品簡介
新型的化學增幅型負像 SU- 8 膠是一種負性、環(huán)氧樹脂型、近紫外線光刻膠，克服了普通光刻膠采用 UV光刻導致的深寬比不足的問題，十分適合于制備高深寬比微結構。SU- 8 光刻膠在近紫外光(365nm- 400nm)范圍內光吸收度很低，且整個光刻膠層所獲得的曝光量均勻一致，可得到具有垂直側壁和高深寬比的厚膜圖形；它還具有良好的力學性能、抗化學腐蝕性和熱穩(wěn)定性。SU- 8 在受到紫外輻射后發(fā)生交聯(lián)，是一種化學擴大負性膠，可以形成臺階等結構復雜的圖形；且 SU- 8 膠不導電，在電鍍時可以直接作為絕緣體使用。由于具有較多優(yōu)點，SU- 8 膠正被逐漸應用于 MEMS、芯片封裝和微加工等領域。目前，直接采用 SU- 8 光刻膠來制備深寬比高的微結構與微零件已經(jīng)成為微加工領域的一項新技術。
SU 8光刻膠光刻前清洗工藝
為了獲得更好的光刻效果，在進行光刻膠旋涂之前，需要對基材進行清洗。常用的清洗方法是利用濃硫酸及雙氧水的混合溶液浸泡，隨后用去離子水清洗并用氮氣吹干。除此之外還可以利用反應離子刻蝕或等離子表面清洗儀清洗。
SU 8光刻膠光刻工藝
將 SU- 8 光刻膠組分旋涂在基材上，旋涂厚度幾至幾百微米。涂覆晶片經(jīng)過前烘并冷卻至室溫。在烘干過程中，優(yōu)先選擇加熱均勻且溫度控制精確的加熱板；不能使用鼓風干燥箱，防止因為光刻膠表面優(yōu)先固化從而阻止內層光刻膠溶劑的揮發(fā)。冷卻后，將負光掩模與涂覆晶片接觸并在汞燈的紫外輻射劑量10-250mJ/㎝?條件下進行曝光。曝光結束后，選擇合適的烘烤溫度及時間。將晶片在顯影液中浸漬顯影，隨后用氮氣吹干。
SU-8光刻膠的優(yōu)點
1、SU-8光刻膠在近紫外光(365nm- 400nm)范圍內光吸收度很低，且整個光刻膠層所獲得的曝光量均勻一致，可得到具有垂直側壁和高深寬比的厚膜圖形；
2、SU-8光刻膠具有良好的力學性能、抗化學腐蝕性和熱穩(wěn)定性；
3、SU-8在受到紫外輻射后發(fā)生交聯(lián)，是一種化學擴大負性膠，可以形成臺階等結構復雜的圖形；
4、SU-8膠不導電，在電鍍時可以直接作為絕緣體使用。
由于具有較多優(yōu)點，SU-8 膠正被逐漸應用于 MEMS、芯片封裝和微加工等領域。目前，直接采用 SU8光刻膠來制備深寬比高的微結構與微零件已經(jīng)成為微加工領域的一項新技術。在微流控芯片加工中，SU-8主要用于快速模塑法加工PDMS微流控芯片。
光刻膠型號及參數(shù)
光刻膠名稱 | 型號 | 勻膠厚度 | 規(guī)格 |
MicroChem SU-8 負膠 | SU-8 2000.5 | 0.5-0.8μm | 100ml;500ml;1L;1加侖 |
MicroChem SU-8 負膠 | SU-8 2002 | 2-2.9μm | 100ml;250ml;500ml;1L |
MicroChem SU-8 負膠 | SU-8 2005 | 5-8μm | 100ml;250ml;500ml;1L |
MicroChem SU-8 負膠 | SU-8 2007 | 7-13μm | 100ml;250ml;500ml;1L |
MicroChem SU-8 負膠 | SU-8 2010 | 10-20μm | 100ml;250ml;500ml;1L |
MicroChem SU-8 負膠 | SU-8 2015 | 13-38μm | 100ml;250ml;500ml;1L |
MicroChem SU-8 負膠 | SU-8 2025 | 20-80μm | 100ml;250ml;500ml;1L |
MicroChem SU-8 負膠 | SU-8 2035 | 35-120μm | 100ml;250ml;500ml;1L |
MicroChem SU-8 負膠 | SU-8 2050 | 40-170μm | 100ml;250ml;500ml;1L |
MicroChem SU-8 負膠 | SU-8 2075 | 60-240μm | 100ml;250ml;500ml;1L |
MicroChem SU-8 負膠 | SU-8 2100 | 100-260μm | 100ml;250ml;500ml;1L |
MicroChem SU-8 負膠 | SU-8 2150 | 190-650μm | 100ml;250ml;500ml;1L |
MicroChem SU-8 負膠 | SU-8 3005 | 5-10μm | 100ml;250ml;500ml;1L |
MicroChem SU-8 負膠 | SU-8 3010 | 8-15μm | 100ml;250ml;500ml;1L |
MicroChem SU-8 負膠 | SU-8 3025 | 22-60μm | 100ml;250ml;500ml;1L |
MicroChem SU-8 負膠 | SU-8 3035 | 32-80μm | 100ml;250ml;500ml;1L |
MicroChem SU-8 負膠 | SU-8 3050 | 44-100μm | 100ml;250ml;500ml;1L |
Merck AZ 正/負可轉換型光刻膠 | AZ 5214 | 0.5-6μm | 100ml;500ml;1L;1加侖 |
AZ 50XT 正膠 | AZ 50XT | 40-80μm | 100ml;500ml;1夸脫 |
AZ 9260 正膠 | AZ 9260 | 6.2-15μm | 100ml;250ml;500ml;1L;1加侖 |
AZ2020正膠 | AZ nl0F2020 | >4μm | 1加侖 |
AZ1500正膠 | AZ 1500（4.4cp/20cp/38cp） | None | 1加侖 |
AZ9620/AZ4330正膠 | AZ 9620/AZ 4330 | None | 1加侖 |
MerckAZ1518正膠 | AZ 1518 | 1-4.3μm | 1加侖 |
AZ 4620 正膠 | AZ 4620 | 10-15μm | 100ml;500ml;1L; |
標簽: 光刻膠 光刻工藝 SU 8
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