STY-3導電型號測試儀
1、概述
STY-3型導電型號測試儀是嚴格按照SEMI MF42-1105、GB/T 1550-1997（非本征半導體材料導電類型的標準測試方法）中的熱探針法及整流導電類型測試方法設計的導電類型鑒別儀。
本儀器熱探筆內裝有加熱和控溫組件，自動加熱并使溫度維持在40?60℃范圍內，冷熱探筆在半導體材料上產生的熱電動勢及整流法產生的電勢差經低噪聲、低漂移的集成運算放大器放大后，用液晶顯示器件（LCD）顯示及檢流計指示型號方向。儀器靈敏度分高、低兩檔，可在廣泛的電阻率（從高阻單晶到重摻單晶）范圍內判別半導體材料型號。
2、技術參數
（1）可判別鍺、硅材料的電阻率范圍：
鍺：非本征鍺～10?4Ω·cm 硅：10４～10-4Ω·cm
經國內外實驗證明：在室溫情況下，熱電法對于電阻率低于1000Ω·cm的硅單晶測量結果可靠；在室溫情況下，整流法對于電阻率1－1000Ω·cm的硅單晶測量結果可靠
（2）鍺、硅單晶直徑及長度：不受限制
（3）顯示方式：由顯示N和P的液晶器件直接指示，同時中間刻度為零位指示器也在指示型號，指針向左偏轉被測樣品為N型，指針向右偏轉被測樣品為P型
（4）探針：先用SEMI MF42-1105標準中建議的不銹鋼作冷熱探針材料，針尖為60℃錐體，熱筆溫度自動保持在40?60℃范圍內，冷筆與室溫相同。整流法選用硬質合金作探針
（5）電源及功耗：AC 220V±10，50HZ交流供電，功耗（熱筆加熱狀態）小于40W，平均功耗≈10W
（6）外型尺寸：370×320×110（mm）
（7）重量：約5.3 kg
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