54X工業(yè)檢測顯微鏡配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、平場無限遠(yuǎn)長工作距離明暗場物鏡、大視野目鏡，其采用了優(yōu)等的無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)，圖象清晰，襯度好，是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)開發(fā)的，作為高級(jí)工業(yè)顯微鏡適用。可進(jìn)行明暗場、落射偏光和微分干涉的觀察，廣發(fā)用于工廠、研究機(jī)構(gòu)、高等院校對(duì)硅片、電路基板、裂縫探究、精密模具的監(jiān)測分析。該顯微鏡配有三目鏡管可選配攝像裝置和攝影裝置，并連接電腦再配置測量軟件或金相圖像分析軟件，便可成為一臺(tái)工業(yè)計(jì)算機(jī)輔助檢測顯微鏡。
技術(shù)規(guī)格： 儀器成套性：
54X 三目工業(yè)檢測顯微鏡 物鏡：
（放大倍數(shù)/數(shù)值孔徑NA/工作距離mm）無窮遠(yuǎn)長工作距離平場物鏡5X/0.1/29.4、10X/0.25/16、
20x/0.40/10.6、40X/0.60/5.4 平場目鏡：
（放大倍數(shù)/視場直徑mm）10X/25 分劃目鏡： 10X/20（格值0.10毫米） 總放大倍數(shù)： 50X-500X 物鏡轉(zhuǎn)換器： 五孔帶DIC、明暗場插孔 調(diào)焦系統(tǒng)： 粗微動(dòng)同軸，采用齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu) 調(diào)焦距離： 30毫米（微動(dòng)格值0.002毫米） 平臺(tái)： 雙層移動(dòng)平臺(tái)尺寸350*310毫米
玻璃平臺(tái)尺寸268*198毫米 移動(dòng)范圍： 250*250毫米 簡易偏光裝置： 檢偏鏡可360°傳動(dòng)，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路 DIC暗場裝置： DIC、暗場插件均可移出光路 落射照明： 帶孔徑光欄和市場光欄；鹵素?zé)?2V100W，亮度可調(diào) 儀器重量： 約35kg 選購件 : 目鏡15//17、20/12.5；無窮遠(yuǎn)平場物鏡50X/0.55/5.1、80X/0.75/4.0；
攝影裝置和攝像裝置
規(guī)格 數(shù)量 顯微鏡主機(jī)： 1臺(tái) 目鏡： 1對(duì) 分劃目鏡： 10X、0.1毫米十字分劃板 1只 物鏡： 5X、10X、20X、40X 各1只 濾色鏡片： 綠、藍(lán)、磨砂玻璃 各1片 簡易偏光裝置： 1套 側(cè)微尺： 每格刻度0.01mm 1塊 照明器： 1件
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