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中紅外量子級聯激光器的光子集成(HMDS烘箱)
中紅外光子集成芯片在環保監測、醫療診斷和國防安全等領域具有廣泛的應用前景,但激光光源與無源波導光路的片上集成仍是中紅外集成光學需要攻克的關鍵難題之一。量子級聯激光器(QCL)是中紅外波段的重要半導體激...
2023/8/1028 -
國內團隊在2D半導體(氮氣烘箱)上取得了新突破
南洋理工大學、北京大學、清華大學和北京量子信息科學研究院的研究人員最近展示了利用范德華力成功地將單晶滴定鍶(一種高κ鈣鈦礦氧化物)與二維半導體集成。他們的論文發表在NatureElectronics上...
2023/8/1033 -
吉林大學研究團隊在集成光子芯片( 潔凈烘箱)領域取得重要進展
日前,吉林大學電子科學與工程學院超快光電技術研究團隊在集成光子芯片(潔凈烘箱)領域取得重要進展,該研究成果以“Non-Abelianbraidingonphotonicchips”為題在線發表于《自然...
2023/8/1037 -
深圳先進院在高靈敏度能量分辨型X射線探測器研究方面獲進展
近日,深圳先進技術研究院先進材料科學與工程研究所研究員楊春雷團隊以Anovelenergy-resolvedradiationdetectorbasedontheoptimizedCIGSphotoe...
2023/8/1059 -
上海微系統所微型光電一體化集成鉆石量子磁傳感器取得重要進展
近日,上海微系統所傳感技術國家重點實驗室采用微納加工技術制備了一種基于氮空位(NV)色心的微型光電一體化集成鉆石量子磁傳感器。相關研究成果于2022年5月9日以“Amicrofabricatedfib...
2023/8/1036 -
華中科大發表國際首篇光學晶圓缺陷檢測領域系統綜述
受SCIE期刊InternationalJournalofExtremeManufacturing(制造)編輯部邀請,華中科大機械學院劉世元教授團隊于4月21日在該刊上發表了“Opticalwafer...
2023/8/1032 -
基于壓電MEMS與光學超表面,構建雙折射可調諧偏振控制器
光學超表面(OpticalMetasurface,以下簡稱“OMS”)是一種由人工微結構組成的超薄平面器件,由于其具有超薄結構和較強的可自主設計性,被視為光學領域新的革命性技術。近些年,各種OMS應用...
2023/8/1055 -
光刻膠粘附力對MEMS工藝影響--HMDS處理設備
光刻膠粘附力對MEMS工藝影響--HMDS處理設備在MEMS產品的研發過程中,在PZ層去膠之后發現有嚴重的側向腐蝕現象。這種現象可以直接從顯微鏡目檢中檢查出,而且在整個晶圓的表面呈現無規則的分布。同一...
2023/8/1045 -
潔凈烘箱在集成電路制造中的用途
潔凈烘箱在集成電路制造中的用途集成電路封裝:指安裝集成電路芯片用的外殼。它不僅起著安裝、固定、密封、保護芯片及增強電熱性能等方面的作用,而且還通過芯片上的接點用導線連接到封裝外殼的引腳上,這些引腳又通...
2023/8/1026 -
可拉伸纖維應變傳感器可用于可穿戴數顯恒溫加熱臺
柔性可穿戴電子系統作為新型的便攜式電子設備,在人機交互、狀態監測、醫療保健等領域具有廣泛的應用。性能*的可穿戴電子系統通常需要堅韌的材料來保證其耐用性和穩定性。由于纖維狀的電子材料更易于集成到可穿戴設...
2023/8/1040 -
氮氣烘箱在IC封裝工藝中使用的方法
氮氣烘箱在IC封裝工藝中的用途隨著集成電路封裝對可靠性要求越來越高,裝片后烘烤對于產品可靠性的影響日益凸顯。烘烤過程中由于裝片膠烘烤產生的可揮發物污染及框架、芯片表面鋁層氧化異常,往往會帶來后續封裝過...
2023/8/1031 -
數顯恒溫加熱臺在光刻工藝中的應用
數顯恒溫加熱臺在光刻工藝的烘烤目的光刻工藝中需要烘烤的步驟有:預烘培和底漆涂敷、軟烘烤、曝光后烘烤、硬烘烤。軟烘烤將光刻膠從液態轉變為固態,增強光刻膠在晶體表面的附著力;PEB(曝光后烘烤)的目的是降...
2023/8/1028 -
高溫無氧烘箱在半導體行業中的用途
高溫無氧烘箱在半導體行業中的用途高溫無氧烘箱應用于MEMS智能傳感器芯片生產、LCD前工段生產、玻璃基板等工藝中的PI(聚酰亞胺)固化,BCB聚合物、PBO高溫固化,銀膠固化,光刻膠固化,鍍金方案中感...
2023/8/1026 -
HMDS烘箱在Micro-LED芯片的應用
HMDS烘箱在Micro-LED芯片的應用Micro-LED具有*的性能,應用于微型顯示器、可見光通信、光學生物芯片、可穿戴設備和生物傳感器等領域。目前,Micro-LED顯示的技術挑戰是如何獲得高分...
2023/8/923 -
快訊:我司精密恒溫加熱臺與國內高科技創新中心合作成功
近日我司精密恒溫加熱臺與國內高科技創新中心合作成功,驗收任務完成。該中心在柔性電子相關的材料、傳感、芯片、電路及算法等研究領域處于水平。還牽頭成立了浙江省柔性電子制造業創新中心,已形成了柔性電子技術體...
2023/8/934 -
合成頻率維度中的巨型原子
日前,海南大學理學院理論物理研究中心教授李勇與北京計算科學研究中心、東北師范大學和瑞典查爾姆斯理工大學的學者合作完成題為“Giantatomsinasyntheticfrequencydimensio...
2023/8/951 -
通過準同型相界調控獲得高應變性能的無鉛壓電陶瓷
壓電致動器精度高、響應速度快,被廣泛應用于生物醫學、微電子、油氣勘探和航空航天等領域。這些壓電器件通常需要在很寬的溫度范圍內(室溫-高溫)工作,且要求其同時具有大電致應變和低應變滯后。目前應用泛的壓電...
2023/8/927 -
上海交大在FeSe超導體超快電子結構相變研究取得進展
近期,上海交通大學物理與天文學院長聘教授張文濤研究組基于所研制的具備高能量、時間分辨率優勢的先進角分辨光電子能譜系統,利用超快激光激發,在FeSe超導體中探測到兩個純電子結構相變,并發現晶格結構相變對...
2023/8/941 -
光刻機光柵定位與套刻測量技術取得進展
近日,基于對光柵衍射及其在超高精度干涉測距與成像應用的深入研究,清華大學深圳國際研究生院李星輝副教授、王曉浩研究員團隊應邀撰文綜述光刻機光柵定位與套刻測量技術發展。電子信息產業是社會支柱之一,大規模集...
2023/8/932 -
華為量子芯片,包含多個量子芯片和量子計算機
華為技術有限公司公開發明“一種量子芯片和量子計算機”,公開號為CN114613758A。摘要顯示,本申請提供了一種量子芯片和量子計算機,涉及量子計算技術領域,以解決量子芯片制作難度大、良率低等問題。本...
2023/8/934
