1、吸收光譜
吸收光譜包括分光光度計，分類為紫外分光光度計和可見光分光光度計；原子吸收儀器，首先從光源上分為火焰原子吸收、墨爐原子吸收、氫化物發生器三類儀器，其作用被測液體的結果都是產生原子蒸汽對應被測元素空心陰極燈發出的光產生吸收，吸收光的強度與原子化蒸汽濃度成函數對應關系，因此吸收光譜主要測定共振吸收線強度。
原子吸收采用氫氣和乙炔作為發熱氣體、載氣、還原氣，實驗室的安全性已逐漸被人們重視，越來越多的人已開始考慮試驗安全儀器，逐步用發射光譜替代，但由于其低成本，一般實驗室還在使用這些通用儀器。主要用于實驗室對于液體樣品重元素的定量檢測上。
2、發射光譜
發射光譜主要包括分析塊狀導電樣品的直讀光譜儀，和分析液體的ICP-OES（電感耦合等離子體光譜儀，他們是原子在火花和電弧放電或等離子體矩管的高溫作用下產生原子或離子能級躍遷而發射出原子或離子特征譜線，然后通過光電轉換部件，如光電倍增管或CCD將光信號轉換為電信號。
發射光譜的保護氣或載氣為惰性氣體，多元素同時分析，安全易操控，已廣泛用于元素的定量檢測。特別是塊狀金屬、爐前快速分析多采用直讀光譜儀；而微量元素分析特別是環境分析、血液分析、貴金屬分析則多采用ICP-OES。
3、X射線熒光光譜
通過X射線管發出的X射線照射被測物質，濺射出二次熒光，通過SDD、Si-PIN、PMT+NaI閃爍體，等測量方式接受熒光信號，測定被測物質元素的特征熒光譜，根據譜圖面積或峰高定量定性測定被測物質。
X射線熒光儀器是真正的無損分析，不消耗標準樣品，且可以分析不同相態的物質，今年應用極其廣泛，例如土壤重金屬、糧食重金屬、礦物、耐火材料、鈦白粉、高爐渣、鐵合金等等的檢測，也根據不同的射線管功率，制造出手持式、便攜式、臺式等多種應用于不同領域的儀器。
