光譜儀的精度業內人士通常理解為儀器的精密度,包括短期精密度和長期精密度,但對于使用者常常理解為準確度，實際兩者是可以統一的，精密度好的儀器，準確度一定能調試好，反之則不能。
光譜儀的精密度與儀器的靈敏度關聯度非常高，一般情況高靈敏度儀器精密度也高，比如一條譜線實際光強為10lm，假設探測器靈敏則轉化為1000µA,探測器不靈敏則可能為100µA，示值就有10倍的差距，就像用米尺去測工件，誤差在毫米以上。當然還有數值處理方法和人為因素，在這里不討論。那么靈敏度與哪些因素有關呢？本文歸納以下幾點：
（1）光源的特性，其中包括光源能量、頻率特性、單火花脈沖能量、放電波形等，因此良好的光源一定是千百次對不同材料試驗調整的結果；
（2）光柵的衍射效率，光柵的制造的特點是個體的差異性很大，少見兩塊衍射曲線*一樣的光柵，這是光柵的制造工藝決定的。高的衍射效率有效信號損失的就小，才能將更真實的信號呈現在探測器接收面；
（3）探測器的性能，一個靈敏且穩定的探測器是對信號強度真實反映的條件；
（4）軟件數學模型，一個真實信號不僅僅是剔除背景，而是瞬態和趨勢的即時展現，尤其大數據高速采樣，已經突現軟件建模的數值計算技巧和深奧數理結合的重要性。
