故障五：P、S穩定性不好，檢查真空泵是否被誤關掉，真空光路鏡片是否需要清洗，一個維護不好的光路會導致錯誤的重現性和分析結果。
處理辦法：檢查真空泵及清洗鏡片。
故障六：真空值下降快故障。
處理辦法：看真空值曲線是否平緩，否則，有漏氣的地方，檢查真空室真空蓋密封性，更換密封圈或對角緊固螺絲。
故障七：光強值下降。原因分析：①透鏡臟；②入射狹縫污染；③光纖老化
處理辦法：擦拭透鏡，清理狹縫，更換光纖。經驗總結：光譜儀用久了，激發臺會因點打的太多了，出現放電漏氣現象，導致光強上不去，需要經常清理激發臺板及火花室。
故障八：數據不穩定。
處理方法：清洗鏡片后重新做標準化，儀器鏡片的污染會導致數據測試的結果不穩定，長時間沒有做儀器的曲線校準也會導致數據測試穩定性不好。
