我們大都知道,聲表面波器件是靜電敏感器件,所以在設計、研制、生產、包裝、儲存運輸和客戶使用過程中,都要進行必要的靜電防護。
為了把靜電防護表述清楚,需引用一些術語:
1.靜電electrostatic
靜電就是物體所帶相對靜止不動電荷。
2.靜電 放電electrostatic discharge (ESD)
具有不同靜電電位的物體,由于直接接觸或靜電感應引起的物體間的靜電電荷轉移。
3.靜電感應electrostaticin duction
當帶靜電物體靠近某一介質時,在該介質表面因感應而帶電荷,并形成感應電場。
4.泄漏 leakage
將靜電荷安全泄放到大地。
5.中和 neutraligation
利用異性離子使靜電消失。
6.接地 grounding
電氣連接到能提供或接受大量電荷物體上。(如大地、艦船或運載工具外殼)。
7.ESD 保護區 ESD protected area( EPA)
用必要的ESD防護材料和設備建立和裝備起來的,有明顯標志的能夠防護ESD損害的區域。
8.操作
在電子元器件制造過程中人或機器直接觸及產品的動作。
表面聲波(SAW)器件屬于I級靜電敏感度的元器件(1一1999v),靜電防護設施要能夠抑制靜電荷的積累和靜電壓產生,安全、迅速、有效地消除已產生的靜電荷,為使靜電放電(ESD)得到有效的防護,從以下幾方面著手(無特殊規定情況下,一般要求產生靜電壓小于100V)。
1. 地面
采用ESD保護材料構成的地面,如:抗靜電活動地板或在普通地面上鋪設防靜電地墊。亦可采用經過特殊處理的水磨石地面,敷設地線網。表面聲波(SAW)器件的超凈間防靜電地面,多數都是采用敷設地線網的自流平地面。
2. 墻壁面料、工作臺面、工作凳面
均應采用ESD保護材料。車間有防靜電工作臺并鋪防靜電膠皮。
3. 人體
防靜電工作區的操作人員必須穿著防靜電工作服,穿防靜電工作鞋,配帶防靜電腕帶,腕帶接地系統電阻的大小應考慮到人身安全。一般取1ΜΩ~10ΜΩ 。
4.接地
ESD保護區要安全接地,應注意做到以下三點:
= 1 \* GB3 ①. 防靜電工作區必須有安全可靠的防靜電接地裝置,地電阻小于4Ω。防靜電地線不得與電源零線相接,不得與防雷地線共用。使用三相五線制供電時,其地線可以作為防靜電地線。
= 2 \* GB3 ②. 工作臺面、地板墊、坐凳和其它靜電的ESD保護措施均應通過限流電阻接到地線,腕帶應通過工作臺頂面接地點與地線連接。工作臺不可相互串聯接地,應直接接到主地線上。
= 3 \* GB3 ③. 防靜電工作區接地系統,包括限流電阻和連接端子應連接可靠,并具有一定載流能力,限流電阻阻值的選擇應保證漏泄電流不超過5mA,下限阻值取1MΩ.
5. 濕度
在沒有特殊要求的情況下,當相對濕度小于60%時,須建立防靜電操作系統。現在車間相對濕度要求在20-60%。
6. 電離器
在不能有效地泄放靜電荷的場合,可采用電離器通過電離空氣產生的正離子與負離子來防止在元器件上和其它物體上電荷積累。要求電離器對靜電電壓消除能力大于250V/S。
7. 增濕器
當相對濕度較低時、可恰當地使用增濕器,通過恒定的潮濕空氣流,防止靜電荷的積累。車間空調帶有加濕系統濕度保持在40-60%。
8.包裝
用于靜電敏感電子元器件包裝的器具必須采用防靜電存放盒,防靜電塑料袋等。
9. 運輸、貯存
轉移靜電敏感電子元器件必須放在防靜電容器內,并采用防靜電運輸工具。我們公司前道用防靜電花籃,后道芯片用培養皿,器件用防靜電泡沫和防靜電袋。
庫房滿足防靜操作系統要求,貯存靜電靈敏電子元器件須放在防靜電容器內。我們公司用防靜電泡沫和防靜電真空包裝袋。
貯運中要遠離強靜電、強電磁場或放射場的位置。
10.標志
靜電敏感電子元器件(應注明分類等級)應標注靜電敏感符號,符號應符合JB 1649規定。
11. 防靜電操作要求
防敏感電子元器件須在防靜電工作區內進行,戴好防靜電指套和防靜電腕帶。
在防靜電工作區以外操作靜電放電敏感電子元器件
必須先使人體接地或保持不接觸元器件,以避免形成放電回路或火花放電。
12. 對靜電敏感電子元器件的操作人員須進行ESD知識和防靜電技術要求的培訓。
13. 客戶在焊接,儲存運輸過程中也要采取防靜電措施。
聲表器件的設計結構不同,使器件的抗靜電能力也不一樣,IEF結構抗靜電能力最差。晶片材料的選擇對器件影響也比較大,42LT最容易產生靜電,制造和試驗過程中,失高。總之選擇合適的材料和結構,在整個生產過程中,加強靜電防護,一定能使我們的產品合格率有顯著提高。