隔膜真空泵主要性能（真空度）到達規劃請求或滿意技術要求，附屬設備一切；儀器運轉平穩，動靜正常，無過熱現象，關閉杰出。旋片式真空泵設備光滑體系無缺，光滑油質符合規則請求，并定時進行檢查，換油。各種儀表（如真空表等）指示值準確，并定時進行校驗；各閥門啟閉靈活、密封杰出，無泄漏景象；管道無泄漏，并定時進行檢查。電動機裝備合理，運轉正常（溫升和動靜正常），電氣線路安全牢靠，有接地保護措施，電氣設備（控制柜）牢靠，電氣儀表指示準確；安全防護設備可。
設備及冷卻體系設備整齊，無銹蝕。水環式真空泵冷卻體系運轉正常，冷卻設備無缺，排水溫度不超過規則請求，應有斷水保護設備。一般來說所用的工作液都是水。作用在轉子葉輪上的能量被液體接收并傳給被緊縮的氣體，從而就造成了水環的溫度升高。水環的部分水與氣體一同緊縮掃除泵外。在緊縮過程中發作的大量熱量被帶走。因此需求不斷的注入水，以使水環泵的工作溫度能夠保持穩定。在大都的水環式真空泵中，其工作溫度約為15—20℃，它取決于所注入水的溫度。實際上，水環泵的極限壓力并不十分重要，由于不一樣的液體，在壓力低于50—60hPa時，會發作氣蝕景象，泵的部件會遭到損壞。當泵挨近極限壓力時，抽速很低，泵入口處的水開端沸騰。當轉至泵的出口時，構成的氣泡開端破裂。這么就會發作很大的噪聲，引起泵的驅動輪和泵腔等部件被逐步損壞。這種景象一般稱作氣蝕景象。一旦氣蝕景象發作，就要通過小閥引進少數的空氣。在這種情況下，在人口官道上開個小孔，以便定量地注入水喝空氣等，如果運用氣體噴射器，氣蝕景象就不會發作了。
