臺積電南科*制程新廠，首度將再生水運用工業生產引發疑慮，國發會主委陳美伶表示，已借由督導平臺關注，為配合產業生產需求，再生水標準符合南科相關*制程所需。
陳美伶同時強調，一旦有異常情況會啟動緊急供水措施，對于制程及良率將有更高保障。
臺積電晶圓18廠落腳南科，政府承諾會穩定供應水電，提出運用再生水方案，由于目前半導體晶圓生產都是用純水，臺積電晶圓18廠使用再生水，市場關注是否會影響晶圓廠的生產品質與良率。
國家發展委員會主委陳美伶接受社記者訪問時表示，各項產業生產用水需配合產業生產需求，對于南科*制程用水需求及標準，討論使用再生水時即與用水端商議過供水品質及標準，以兩段式RO（逆滲透）作為供水規劃，相關水質應可符合南科相關*制程所需。
陳美伶解釋，去年就已成立的“南科*制程環境建置案進度督導平臺”，是針對整個臺南科學園區的*制程成立，跨相關部會及臺南市政府，主要是解決影響產業經營的關鍵問題。
陳美伶說，為協助業者排除投資障礙，行政院長主持多次加速投資中國臺灣專案會議，就是為解決目前產業遇到的問題，除了南科*制程，目前也針對中科園區議題解決處理中。
此外，南科管理局副局長蘇振綱受訪時指出，南科*制程不只臺積電部分，也有許多廠商需要使用到再生水，在會議中也針對這項議題協調處理，確保廠商使用需求。
蘇振綱說，針對廠商遇到的產業需求，從去年下半年就陸續召開會議并追蹤進度，因為*制程廠商都是中國臺灣重大投資，除搜集廠商需求細節，也需要掌握進度，與部會與地方政府間進行協調。
臺積電5納米新廠晶圓18廠，是一家進入5納米制程的晶圓廠，資本投資新臺幣5000億元，計劃在2020年投入生產。
臺積電3納米、5納米廠先后確定落腳南部科學工業園區，面對水、電需求，臺南市政府先在去年4月啟用曾文凈水場，每天增加2萬噸供水，也將永康污水處理廠升級再生水廠，預計2020年，每天可供應1.5萬噸工業用水。
