擴散式與泵吸式臭氧檢測儀的檢測原理基本一樣，通過儀器的傳感器對所要檢測的氣體進行檢測，然后通過電路放大整理轉換成對應的數值顯示在屏幕上。
擴散式與泵吸式區別在于取樣方式不同：
擴散式臭氧檢測儀是被檢測區域的臭氧氣體隨著空氣的自由流動緩慢的將樣氣流入儀表進行檢測，需放置在現場。這種方式受檢測環境的影響，如環境溫度、濕度、壓強、風速等，不適合于壓力較低的氣源。擴散式臭氧檢測儀的優點是成本比泵吸式低。
泵吸式臭氧檢測儀是儀器配置了一個微型抽氣泵，其工作方式是電源帶動微型氣泵對待測區域的氣體進行抽氣采樣，然后將樣氣送入儀表進行檢測。泵吸式氣體檢測儀的特點是檢測速度快，對危險的區域（高濃度臭氧區域）可進行遠距離測量，維護現場操作人員的安全。適合于臭氧檢測儀不能放置的現場以及對反應速度、壓差等有特殊要求的場合。
微型真空泵是泵吸式氣體檢測儀重要的運轉部件，直接關系到儀器的壽命和可靠性。泵吸式臭氧檢測儀一般選用小型、微型體積的氣泵。設計時根據流量、壓力、功率與樣品隔離、無泄漏、輕巧、低噪音、電磁兼容性、壽命等要求選用氣泵。目前國內的低端微型泵生產廠家很多，低端市場幾乎被國貨占領。而微型泵則由進口KNF、Thamos、GAST品牌一統天下。
從技術經濟上講，臭氧檢測儀的各部分元件壽命能匹配。電化學特定氣體傳感器的壽命一般是三年至五年。電化學傳感器的壽命取決于其中電解液的干涸，所以如果長時間不用，將其密封放在較低溫度的環境中可以延長一定的使用壽命。固定式儀器于體積相對較大，傳感器的壽命也較長一些。這里特別提醒一些擁有使用臭氧檢測儀的企事業單位或者學校實驗研究室，切記切記哦。
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