常見真空濾油機配套的真空泵都是使用的旋片式真空泵（雙級真空濾油機一般是旋片式真空泵與功蘿茨增壓泵配合使用），普通真空濾油機的旋片式真空泵運行的穩定和效率直接影響濾油機油處理效率，所以注重真空泵的維護保養，是必要遵守的，其維護保養如下：
1. 泵及四周環境應該經常保持清潔，防止雜物進入泵內。
2. 泵在運轉過程中，油箱內的泵油量不得低于油標中心。
3. 不同種類和牌號的真空泵油，不可混合使用。
4. 泵在使用中，因系統損壞等特殊事故，進氣口突然暴露在大氣時，應盡快停泵，并切斷與系統連接管道，防止噴油，污染場地。
5. 泵由于存放或使用不當，水分或其他揮發性物質進入泵內而影響極限真空時，打開氣鎮閥凈化之，當泵油受機械雜質或化學雜質污染時，應更換泵油，換油步驟如下：
先開泵先運轉半小時，使油變稀，停泵，旋下放油塞，放出臟油，再敞開進氣口運轉2分鐘，此間可從進氣口緩慢加入小量清潔的真空泵油，沖洗泵芯，臟油放完后，將放油塞旋上，并擰緊，旋下加油塞，利用漏斗，從進油口加入清潔的真空油，旋上加又塞。
6. 泵不用時，應用橡皮塞帽把進、排氣口塞好，以免臟物落入泵內。
7. 倘如泵在工作過程中被污染，則必進行拆洗，這項工作需要慎重，注意拆裝步驟，以免損壞機件。
８、為了保證真空濾油機的優良的質量性能，特建議真空濾油機上安裝的真空泵按下列步驟進行維護：
更換真空泵油 | 換油周期 |
真空泵在40℃以內環境溫度下工作 | 每500工作小時 |
真空泵在41-50℃的環境溫度下工作 | 每隔300工作小時 |
推薦進口真空泵油的牌號：
Esso公司的Nuto H100
美孚公司的Rarus 427
殼牌公司的Corena Oil H100
推薦國產真空泵油的牌號：SAE 10W50或SAE 20W50油
重要注意事項：如果真空泵的潤滑被絕緣油污染后，就必須更換新的潤滑油。
真空濾油機上與泵配套的大多數電動機均具有整個使用期密封式的軸承，但若配有油咀，就應按制造銘牌上的說明加注黃油脂。
提示：本文提到的真空濾油機真空泵，包含了所有潤滑油真空濾油機、透平油真空濾油機以及變壓器油真空濾油機，都可以參考此保養指導守則。
