熱式氣體質量流量計是依據吸收熱的速度直接與質量流量相關的原理，該儀表的傳感器由兩個基準級熱電阻（鉑RTD）組成。一個是質量速度傳感器T1，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器T2。當這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器T1被加熱到氣體溫度以上的一個恒定的溫差，另一個傳感器T2用于感應被測氣體溫度。隨著氣體質量流速的增加，氣流帶走更多熱量,傳感器T1的溫度下降，要維持T1、T2恒定的溫度差，T1的加熱功率就要增大。根據熱效應的金氏定律。移動的氣體分子撞擊熱電阻時吸收帶走熱量，流量越大，接觸熱電阻的分子越多，吸收的熱量越多，熱吸收與某種氣體的分子數，熱學特性和流動特性有關。加熱功率P、溫度差△T（T1-T2）與質量流量Q有確定的數學關系式。
P/△T=K1+K2 f（Q）K3
K1、K2、K3是與氣體物理性質有關的常數。
熱式氣體質量流量計區別于其它氣體流量計，不需要進行壓力和溫度修正，直接測量氣體的質量流量，是真正的直接式質量流量計，一支傳感器可以做到量程從極低到高量程。
熱式氣體質量流量計應用范圍
● 氧氣、氮氣、氫氣、氯氣及多組分氣體測量。（乙炔氣體除外）。
● 高爐煤氣、焦爐煤氣測量。
● 煙道氣測量。
● 沼氣、水處理中的曝氣和氯氣測量。
● 壓縮空氣測量。
● 天然氣、液化氣、火炬氣等氣體流量測量。
● 電廠高爐的一次風、二次風流量測量。
● 礦井下通風或排風系統流量測量。
熱式氣體質量流量計特 點
● 測量氣體質量流量，無需溫度、壓力補償。
● 量程比大，測量流速范圍：0.1Nm/s～100Nm/s。
● 無壓力損失，適用已知截面積的任意形狀管道。
● 耐腐蝕型傳感器，適合測量腐蝕性氣體。
● 全量程段的專家算法，特別適合大口徑測量保證了測量的準確度，適于貿易結算。
● 可以出色的完成工藝管道的檢漏及設備工作。
● 施工量極小，由于采用插入式結構，可以在線安裝和維護。
● 基地式儀表可以就地顯示和帶報警控制。
