質量流量計檢測
與空氣、煤氣的使用溫度、壓力無關，可測量換算成標準狀態下的流量。
（* 標準狀態下的流量是指在1個大氣壓、0°C（或20°C）時的體積流量。）
寬廣的測量范圍
相對于測量流量的低流量區域，一般的氣體流量計都難于檢測，通過搭載μF傳感器，可實現寬廣范圍的測量、控制。實現了質量流量計CMS的可調比100：1、大流量質量流量計CML的可調比160：1（測量范圍為1,280：1）的高可調比！
于空氣及燃氣的使用量的管理、及節能的漏氣管理。
快速響應
傳感器直接與氣體接觸進行檢測，實現了快速響應。
低圧損構造
μF傳感器設置在流路的壁面上，所以阻礙流體流動的構造體少，具有低壓力損失的特點。于低圧氣體流量的檢測、控制。
高精度
質量流量計采用RD（讀數）精度規定，實現了寬廣流量區域下的高精度檢測。
各種功能
通過控制機器積累的微電腦的技術，搭載了以前的質量流量計沒有的各種功能。
瞬時／累積流量顯示、煤氣種類切換功能、上下限報警輸出、模擬輸出、累積脈沖輸出、通信功能等 （* 因產品而異）
種類豐富的產品
根據使用用途，備有從0～500mL/min到0～1600m³/h的寬廣流量區域的產品。
氣體質量流量計 CMS系列
外觀 主要用途 口徑
(B) 流量量程
工業氣體的種類管理、試驗研究 1/4
1/2 0.5 L/min ～
2000 L/min
Gas Types 空氣 氮氣 氧氣 氬氣 二氧化碳 城市煤氣 沼氣 丙烷 丁烷 氫氣 氦氣 笑氣
