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光柵式角位移傳感器的工作原理、光路系統、電路及設計與線位移式基本相同(見 1. 8)

2022年12月28日 14:06:56      來源:深圳市新世聯科技有限公司 >> 進入該公司展臺      閱讀量:24

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以下是引用片段:

工作原理 光柵式角位移傳感器的工作原理、光路系統、電路及設計與線位移式基本相見 1. 8 。所不同的是將長光柵換成圓柵。其結構原理如圖3.6 . 1 所示。由圖可知,在整圓玻璃板上刻有10800條線,格值2,任意兩條刻線間誤差不超過2。長度刻線不小于6mm,即在φ86φ74兩圓之間應布滿刻線。刻線中直徑φ80的中心與孔φ42的中心之間的偏心不超過0.05mm。在φ90.5處刻一基準圓。

圓光柵的刻線方向有徑向和切向兩種,分別稱為徑向光柵和切向光柵,如圖3.6.2所示。


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