1、檢測晶圓片位置
監控晶圓片是否正確存放在晶圓盒里，以便機械手正確抽取晶圓片。
型號：CD5-W2000
2、激光測距傳感器PCB板的平整度檢測
CD33檢測PCB基板的平整度。
通過亞像素處理和靈敏度自動調整功能可實現穩定檢測，不受基板的不同顏色的影響。
型號：CD33系列
3、激光測距傳感器透明薄膜的厚度檢測
CD5-LW25常用于檢測透明薄膜的厚度，重復精度：0.02μm。
通過使用兩個位移傳感器對射分別檢測透明薄膜的兩面，從而實現厚度檢測。
型號：CD5-LW25
4、激光測距傳感器監控液晶玻璃的變形
CD5-L25檢測液晶玻璃的平整度。
正反射型CD5-L25可以檢測透明玻璃厚度，重復精度可達：0.02μm。
通過高精度測量玻璃表面峰值及谷值的誤差，從而判定玻璃是否變形。
型號：CD5-L25+CD5A-N
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