在超純水設備使用15-30天就應該對砂濾器和炭濾器進行正反沖洗，將沙層和炭層表面的雜質沖出，以提高過濾效果。軟化器的功用主要是以離子置換的原理降低水的硬度，因此隨著使用時間的延長，陽樹脂的軟化能力也逐漸降低，需要用NaCl進行再生。
精密過濾器是反滲透膜前的一個重要部件。通常我們會在精密過濾器的前后各裝一個壓力表，當壓力差在0.7-1之間說明濾芯已經污堵了，就應該及時更換pp濾芯。
反滲透膜作為整套系統里一個非常重要的部件，更要更加細心的維護。在設計反滲透系統的時候，應該具備自動沖洗功能。在沖洗的時候，壓力應該不高于3公斤，流速較快。以沖走膜片表面的污物。
