OTF-1200X-5S是一款CE認證的小型開啟式管式爐，其工作溫度可以達到1200℃。爐管Φ130mm(或100mm)的高純石英管。設備配有一對不銹鋼密封法蘭，可在真空或氣氛保護環境下對樣品進行熱處理。對于控溫系統，可設置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐至多可對4英寸的晶片進行退火。
技術參數
名稱 1200℃小型單溫區大口徑開啟式管式爐--OTF-1200X-5S 產品提示 1、危險設備使用提示 2、配件妥善保管提示 主要特點 5英寸的石英管和鉸鏈法蘭，寬大的腔體可作為箱式氣氛爐用（避免了箱式爐爐膛污染問題）。 可用于四英寸基片退火。 可以作為模塊，DIY ALD CVD PVD蒸發爐 回轉爐等（具體請致電） 采用高純氧化鋁纖維材料作為爐膛材料，并且表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率。 采用ABB電器元件。 基本參數 工作溫度：1100℃（<0.5小時） 連續工作溫度：1000℃ 建議加熱速率：≤10℃/min 加熱區長度：300mm 加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金 功率：3KW 電壓：AC220V 50Hz 爐體結構 配有一對不銹鋼密封法蘭，采用硅膠密封圈密封。 石英管口徑可選：130mm或100mm。 配有2個氧化鋁管堵，使用設備時應放在爐管兩端，保證恒溫區和法蘭密性。 右端法蘭為KF25接口，用于連接真空泵。 真空度：10-2torr（采用機械泵）。 安裝有一機械壓力表，測量范圍為0.1~0.15MPa。 采用PID方式調節溫度，可設置30段升降溫程序。 帶有超溫和斷偶保護。 配置可選 可選購5英寸的水冷鉸鏈法蘭，并帶有支撐架 備注：鉸鏈法蘭 可選購數顯防腐真空計 可選購石英管堵，提高爐管內的潔凈度和幫助獲得高真空 您可能需要在真空端部安裝一個手動擋板閥 可選購鎧裝K型熱電偶，通過法蘭的鎧裝孔伸入到爐管內部，測量樣品的實際溫度 可選購歐陸型溫控儀表，控溫精確度可以提升到±0.1℃ 您可以訂購帶真空泵和溫度校準套件的爐子 可選購MTS02-B控溫模快，可用電腦設置和顯示溫度程序 外形尺寸 爐蓋關閉尺寸：440mm（長）×440(寬)×460(高) mm。 帶法蘭支撐（每個260mm）,總長：960mm(長)×440mm(寬)×460mm（高）。 爐蓋打開尺寸：440mm(長)×440mm（寬）×700mm（高）。 帶法蘭支撐（每個260mm）,總長：960mm（長）×650mm（寬）×700mm（高）。 溫度控制器單位：260mm(長)×350mm（寬）×410mm（高）。 凈重;48Kg。 實驗室參考案例 科晶實驗室用此設備做出的部分結果，以供您參考。 以下數據針對合肥科晶設備，不具有普遍性。如果您想了解詳細試驗方法，請聯系科晶實驗索取詳細實驗報告。 硅鋼退火 Nb205粉（未處理前）Nb205粉（處理后） 熱處理硅片 備注：以上數據僅供參考，更多數據請聯系科晶實驗室 可以吧法蘭對著操作者，作為箱式爐使用。 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加精確安全。 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態。 進氣爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。 石英管的長時間使用溫度<1100℃。 警示 不要將裝有溶液的容器放在儀器上，防止造成一起短路。 如需高溫取樣，請務必穿戴好安全裝置。 爐管內氣壓不可高于0.02MPa。 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，者需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻到泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。 質量認證 所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/ CE認證，若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。 質保期 一年保修，終身技術支持。 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 3.我們享有自主升級改造該爐子構造的權利，努不另外通知。 免責聲明 本站產品介紹內容（包括產品圖片、產品描述、技術參數等）僅供參考。可能由于更新不及時和網站不可預知的BUG造成數據與實物的偏差。如果您對參數有異議，或者想了解產品詳細信息，請與本公司銷售人員聯系。本站提供的信息不構成任何要約或承諾，科儀公司會不定期完善和修改網站任何信息，恕不另行通知，請您見諒。
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