產品應用
真空 鍍膜 太陽能 半導體 石油石化
煤炭冶金 制氣配氣 環保 各種分析儀器
技術參數
技術指標: Dmass質量流量控制器Dmass質量流量計
量程范圍: 10SCCM-200SLM
測控范圍: 控制器閥控范圍50:1 流量計量程比100:1
準 確 度: 流量：±1%讀數±0.2%滿量程
重復精度: ±0.2%F.S
響應時間: ≤1S
數 字 量: RS232/485，MODBUS協議
模 擬 量: 0～5V、4～20mA
供 電: 24V/±15V可選
工作溫度: 0～50℃
工作壓力: 工作壓差：0.03～0.5MPa 工作壓降：<0.01Mpa
耐壓: 3MPa
電氣連接: DB15孔
漏 率: 1×10-9SCCSHe
溫度系數: ±0.015%F.S/℃
底座材質: 鋁合金或316L不銹鋼
密封材料: 氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠
接 頭: VCR1/4;swagelokφ6
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