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測(cè)量中心距離為20 ～ 1,500 mm的各種型號(hào)。 
分辨率達(dá)0.25 μm。 
響應(yīng)速度達(dá)110 μs。 
支持并行輸出。

重視性能的傳感器頭尺寸和3點(diǎn)式固定構(gòu)造確保出眾的傳感穩(wěn)定性。（參見(jiàn)注釋）

注：ZS-HLDS2T 不可用。

通過(guò)提高受光透鏡的靈敏度和分辨率，使光學(xué)系統(tǒng)化，從而大幅度降低移動(dòng)分辨率誤差（因工件表面位置引起的誤差）。

CCD在受光量過(guò)多時(shí)電荷會(huì)溢出至相鄰的像素。CMOS避免了這種現(xiàn)象，不會(huì)受不同材質(zhì)或受光過(guò)多導(dǎo)致的光量變動(dòng)影響。

降低決定測(cè)量精度的不同物體之間的差異。 
因此，可以更方便地應(yīng)用于檢測(cè)對(duì)象物。

行業(yè)的1,500mm長(zhǎng)距離檢測(cè)，可以測(cè)量以往無(wú)法測(cè)量的點(diǎn)。

注：此功能可能在明亮環(huán)境中無(wú)效。

可穩(wěn)定測(cè)量?jī)A斜工件和移動(dòng)工件。

專門為ZS-HLDS2VT開(kāi)發(fā)的非球面透鏡，采用的光學(xué)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)于正反射工件。顯著擴(kuò)大了允許傾斜的角度，并提高了測(cè)量透明工件和正反射工件的穩(wěn)定性。

在半導(dǎo)體晶圓片、玻璃等要求精度高的測(cè)量上具有壓倒性的優(yōu)勢(shì)。

令人難以置信的測(cè)量精度0.25μm，同級(jí)產(chǎn)品的。

注：ZS-HLDS5T型：L = 50，A = 30° 
ZS-HLDS10型：L = 100，A = 25°

注：ZS-HLDS60型：L = 600，A = 7° ZS-HLDS150型：L = 1500，A = 3°

注：ZS-HLDS2VT型：L = 25，A = 34.5° 
ZS-LD20T/20ST型：L = 20，A = 45° 
ZS-LD40T型：L = 40，A = 32°

注：面板厚度為0.2mm的尺寸圖。